二手 USHIO UX-4440 #9364543 待售

USHIO UX-4440
ID: 9364543
晶圓大小: 2"-6"
Aligners, 2"-6".
USHIO UX-4440是一種面罩對齊器,設計為非常通用,快速的納米加工應用。它具有精確到0.5 μ m(微米)的4 「x 4」對齊場,使其能夠處理多種類型的基板。配備精密、使用壽命長的級和空氣軸承精密級,可實現高分辨率對準和高通量。它具有先進的自動對焦算法,提供最佳的對齊精度和可重復性以及快速的分析時間。該機還具有低振動平臺,以提高精度和穩定性。集成了10W並聯紫外線氙燈進行曝光,全溫控制平臺確保石英面罩的可靠和可重復曝光。其數位運動控制器提供可重複精度的高速操作。該系統還為用戶配備了多種選項,包括多次曝光功能,可創建高效、精確的口罩,對準攝像頭可實現基板的高精度對準,自動級校準,以及超高速真空卡盤。板載PC具有直觀的圖形用戶界面(GUI),可訪問計算機的所有設置和功能。該機器還提供靈活的模式轉移實用程序,使其適用於更復雜的模式和檢查過程。系統還附帶了一個可以快速加載和執行的預定義或自定義用戶進程參數庫,使系統易於使用。USHIO UX 4440是一款先進且高度精確的掩模對齊器,可在納米加工過程中提供更高的精度、重復性和吞吐量。它的靈活性和可用性,加上其成像和對齊功能,使其成為需要高精度和可靠結果的應用程序的理想選擇。
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