二手 USI PV480 #9183256 待售

USI PV480是一種用於光刻應用（如半導體器件制造）的掩碼對齊器。它是一種采用激光幹涉測量的高通量機器，具有先進的邊緣識別和精度控制技術。PV480面罩對準器使用直線電動機作為底層設計，設計用於在較長的曝光時間內對大型面板基板進行更精細的對準。掩模對準器還配備了集成的卡盤，其面積足以容納6英寸和8英寸晶圓。這種尺寸使USI PV480能夠處理諸如平板顯示器之類的大型基板。PV480通過識別基板邊緣，然後相應地同步激光的x、y和θ軸，計算補償平坦度變化。這樣可以確保基板在整個加工過程中保持完全對齊。其邊緣識別能力還能檢測到顆粒和灰塵等汙染，自動校正基板，使其均勻暴露。USI PV480提供了一種先進的點對點算法,用於連續精確掃描並精確映射每次曝光的位置和角度。它能夠在600 x 600mm的整個場復雜度上提供+/-3 μ m的曝光精度。PV480具有耐用的氙燈，其輸出光譜針對光刻進行了優化。其低功耗、低維護和先進的熱管理技術保證了大批量生產下的可靠運行。USI PV480掩碼對齊器帶有用於配方開發的直觀軟件包,其中包括從用戶界面快速編程、調整、監視、控制和診斷對齊器的工具。它具有可定制的掩碼編輯器,可輕松設計和驗證掩碼模式。總之，PV480面膜對齊器是一種先進的高通量光像機，非常適合平板顯示器生產等大型光刻應用。憑借其邊緣識別功能、均勻的曝光校正和精確的掃描功能,它能夠以最小的可變性提供高分辨率、準確的結果。