二手 VISION PRECISION GA 16 #9262207 待售

VISION PRECISION GA 16是一款為生產集成電路、內存芯片、成像傳感器等晶圓級器件以及許多其他小型化技術而設計的掩模對齊器。該設備使用光刻技術將圖樣從光刻塗層的矽晶片復制到矽母版或「對齊器」上。它采用了兩個來自光纖耦合激光源的強大的紅光激光束，並通過柔性光機元件，對遮罩層的曝光進行精確的圖案和統一的控制。激光可以調整到不同的波長，允許更高的分辨率和更高的吞吐率。GA 16在其對準過程中提供了非凡的準確性和可重復性,對準精度約為25nm。這種精確度比傳統的光刻方法好十倍，能夠創造出更復雜的微器件。該系統還具有一個自動晶片定位單元，該單元使用自動顯微鏡和基準識別將晶片精確對準掩模。它還包括一系列先進的光學元件，這些元件允許調整光束參數以適應復雜的陣列設計需求。VISION PRECISION GA 16還利用了可變斜率標線載波進行微調精度。這種載體有助於在晶圓上精確、分步地對準掩模。一組多級光學器件可微調照明和圖樣分辨率,一臺特殊的濾光機可快速保護光學器件免受汙染。曝光過程涉及高精度的光光旋轉百葉窗，可進一步調節曝光。GA 16是一種高效、精密且可靠的掩碼對齊器,能夠在自動化模式下運行,且人機交互最少。它的特點使微型設備的精確、經濟高效的生產成為可能,為制造商提供了許多方便的特性,使微型模式復制成為一項簡單而無錯誤的任務。