二手 DAVID MANN / GCA 3696 #9283456 待售
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DAVID MANN/GCA 3696是下一代多循環面罩的產生和生產設備。它利用最先進的平版印刷和工藝技術,在經濟高效的制造環境中提供高分辨率、定制的掩模圖案。GCA 3696可以快速、準確、可靠地生成、處理和檢查復雜的光掩模圖樣。它配備了步進級投影光學器件,能夠產生最先進的光刻所需的最高功率和分辨率。它有一個自動曝光系統,每種模式最多可處理四次曝光,提高準確性和掩模復雜性。DAVID MANN 3696具有高級機械設計,采用了新的框架概念,可顯著降低振動水平和結構熱膨脹。它還使用先進的控制系統來確保準確可靠的制造和檢驗過程。它有一個自動化的對齊和放置單元,不僅優化精度,而且優化吞吐量。此外,3696提供了先進的缺陷檢測能力。它的多層系統可以識別多種缺陷,包括空隙、邊緣缺陷、劃痕、變薄、側壁缺陷、缺失特征和碎屑。通過利用先進的圖像處理技術,該機能夠以超過10nm的分辨率高靈敏度檢測缺陷。該工具支持各種掩碼格式,包括BGA、BSR、DAL、ESR、FPGA和GDS-II。它還支持與基於VME的C語言可編程控制資產進行同步操作。此外,DAVID MANN/GCA 3696通過具有長晶片盒壽命的滾動晶片處理模型提高了生產率和成本效益。總之,GCA 3696提供了完整的掩模產生和生產設備,結合了高分辨率、高性能、高精度和高缺陷檢測,以滿足業界領先的芯片和光掩模制造商的需求。
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