二手 MICRONIC MP-80 #9153039 待售

MICRONIC MP-80是一種口罩生成和生產設備，設計用於快速生產制造MEMS、復合半導體和IC所需的高分辨率微口罩。在操作中，MP-80采用了一個完整的、直接寫入電子束的方法來精確地生成臨界尺寸小至0.1µm的掩模。該系統配備了用於掩模基板XYZ運動的高精度平移級,以及一個軟件控制光學單元（SCOS）,以確保圖像質量一致並減少未對準錯誤。此外，MICRONIC MP-80還集成了創新的低損耗電子束曝光工具（LET）。該工具確保電子束始終保持聚焦狀態，以補償飛行中掩模的潛在表面輪廓。這是通過實時測量電子束位置並相應調整束聚焦來實現的。MP-80還配備了一臺原位平坦度測量機，用於在制造前檢測遮罩材料中的基板翹曲和其他缺陷。MICRONIC MP-80也是為便於使用而設計的。它的用戶界面允許用戶直觀地設置和運行現有繪圖中的掩碼或創建自己的設計。蒙版數據處理、特征放置、驗證和梁成形工具等功能都可與提供的軟件包一起使用。該工具還帶有一個標準元素模式庫，可以快速地納入蒙版設計。MP-80是一個非常可靠，可靠的資產面罩的產生和制造。其高精度的驅動模式和先進的過程控制能力，超過能夠在1小時內實現72個口罩的啟動至完成吞吐量，分辨率為0.1µm。這使得它成為制造MEMS、復合半導體和IC等多種用途的理想選擇。