二手 TAMARACK 142 #9214869 待售

TAMARACK 142是一種模塊化的掩模產生和生產設備，設計用於高性能晶圓尺度光刻。該系統由幾個模塊組成，包括一個自動曝光單元、一個自動平版印刷優化機、一個自動晶圓對準工具和一個自動掩模檢查資產。自動曝光模型包含一組多個大功率激光二極管和一個激光焦距控制設備。這使系統能夠提供各種各樣的高產量的曝光參數和可重復曝光。自動光刻優化單元能夠執行一組預先確定的測量過程，以優化實現所需特征所需的光刻輪廓。自動晶圓對準機與現成的、非接觸式和真空對準系統集成在一起，提供可重復和精確的晶圓對準。自動掩模檢查工具結合了成像技術，包括SEM和X射線成像，以準確檢查掩模是否有缺陷和變化。該資產還設計了先進的自動化和控制模型，允許用戶上傳蒙版設計，控制曝光參數，優化光刻和晶圓對準過程。該設備還能夠實時監測所有流程步驟，並提供詳細報告以供進一步分析。總體而言,此系統提供易於使用、可靠且可重復的工藝,用於生產具有高保真光刻和對齊功能的蒙版。這個單元為生產和生產精細定義的高質量口罩提供了一個高效、經濟高效的解決方案。