二手 ZEISS CDC32 #9222612 待售

製造商
ZEISS
模型
CDC32
ID: 9222612
晶圓大小: 6"
優質的: 2012
Critical dimension controller system, 6" 2012 vintage.
ZEISS CDC32是一種用於光刻工藝的口罩生成和生產設備。它基於IBM兼容的PC工作站和ZEISS SEM8900掃描電子顯微鏡(SEM)。蔡司CDC 32系統結合了先進的SEM技術和基於軟件的單元。該SEM8900是一種提供高分辨率成像的場發射掃描電子顯微鏡,用於創建和修改光掩模。它配備了包括二次電子和反向散射電子探測器在內的多種探測器,能夠對標本上的各種特征進行成像。基於軟件的計算機包括一個圖形用戶界面(GUI),它允許用戶輕松創建和操作照片掩碼設計,以及一個數據庫來存儲生成的設計。CDC32工具具有多種功能,可以進行高效的掩模設計。首先,它有一個特征提取工具,可以識別標本上太小而無法用眼睛或傳統光發射曝光技術識別的特征。它還具有「轉鍵」功能,允許用戶將多個圖像上載到數據庫中,而無需手動操作設計。此外,資產還配備了z軸掃描,以提供三維圖像。CDC 32模型能夠為各種應用程序創建高度精確的掩碼。它提供了多種設計選項,如六邊形、分形等。設備還提供各種設計參數,如尺寸、位置、凹槽深度和梁筆尺寸。此外,基於軟件的系統允許對蒙版進行設計後修改,以添加、修改或刪除圖像特征。最後,該單元提供了光刻工藝控制工具。這些工具包括過程參數,如劑量和暴露時間。該機器還能夠提供有關光刻工藝的反饋,以便對工藝進行優化。綜上所述,蔡司CDC32工具是一種功能強大、用途廣泛的面罩生成和生產工具。它基於SEM8900掃描電子顯微鏡和基於軟件的資產,它提供了多種工具和功能以實現高效的掩碼設計和操作。它能夠為各種應用創建高度精確的掩碼,並且可以提供有關光刻工藝的反饋以進行工藝優化。
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