二手 ADE / KLA / TENCOR 351 #9390213 待售

ADE/KLA/TENCOR 351是為高速和高精度而設計的先進的掩模和晶圓檢測設備。它能夠檢測最小特征寬度為1.5 μ m的高達3 nm分辨率的缺陷。該系統采用雙高分辨率光學傳感器和激光共聚焦顯微鏡，提供高通量，能夠每小時檢查多達一百個晶片。該單元采用兩個高速、高分辨率激光顯微鏡，同時測量半導體晶片的地形和拓撲特征。該機器能夠以高分辨率和高速度獲取數據，使其能夠實時提供每個晶片的完整視圖。這有助於檢測和糾正在手動檢查過程中可能遺漏的任何缺陷。此外,該工具完全自動化,具有自動檢測、分類、測量和分析功能。該資產建立在ADE ASPECT™平臺上，采用Focus™技術，保證晶片表面信號的均勻采集。該模型還提供了一個寬光譜波段，使得它適用於集成電路（IC）檢查跨越不同的光學頻率。ADE 351的交互式用戶界面使其易於使用,並使其易於與手動和自動缺陷審查流程集成。此外，該設備還能夠進行實時圖像捕獲和數據分析。它還配備了多種設置來調節對比度靈敏度、圖像分辨率或色彩空間。該系統在檢測和定位缺陷方面既經濟高效又可靠，是半導體制造行業的寶貴資產。無論是故障晶片還是高級IC, KLA 351都能勝任這項任務,從而為各種應用程序生產出完美的組件。