二手 ADE / KLA / TENCOR AWIS 3110 #293816349 待售

ADE/KLA/TENCOR AWIS 3110是設計用於半導體制造的自動化掩模和晶圓檢測設備。它能夠對光學掩模和晶片進行可重復和可靠的檢查,使半導體制造商能夠快速可靠地識別其制造過程中的任何潛在缺陷。該系統由一個六軸機械臂、一個下劃線光學單元、一個用於基板支撐的500 mm級以及一個統計采樣算法組成，該算法能夠評估掩模和晶片上的潛在缺陷。機械臂設計用於快速檢查基板上的多個區域，幫助確保覆蓋任何有缺陷風險的區域。下劃線光學機器可確保檢測到低級缺陷,而500 mm級則為處理基板提供了充足的空間。該工具還配備了多種圖像數據分析算法。這些算法可用於自動檢測掩碼和晶片上的任何相關特征，包括亞微米大小的特征。該資產還能夠承載廣泛的檢查算法，包括用於改進表面特征檢測的邊緣檢測、自動線寬測量以及用於改進對比度檢測的效率計算。最後，ADE AWIS 3110還包括數據管理功能。這使用戶能夠存儲檢查結果,使他們能夠快速有效地查看和比較多次運行的結果。這有助於提高檢查過程的速度和準確性。總體而言，KLA AWIS 3110是一種有效可靠的掩模和晶圓檢測模型。它提供了一套全面的功能，從機械臂移動和下劃線光學系統到圖像數據分析算法和數據管理能力。這確保了用戶能夠快速、精確地識別其基板上的任何底層缺陷,有助於提高半導體制造過程的效率和可靠性。