二手 ADE / KLA / TENCOR CR-81 #9102576 待售

ADE/KLA/TENCOR CR-81是為半導體和集成電路制造行業設計的先進的事件驅動掩模和晶圓檢測設備。它能夠以無與倫比的速度和精度測量和分析位於晶片和掩模上的臨界薄膜層的缺陷。該系統包括ADE（Advanced Defect Evaluation）、KLA（TENCOR）、ADE/KLA/TENCOR（TEM Imaging）三個行業領先品牌的三項技術。這種組合匯集了用於掩碼和晶片檢查的高級功能,這些功能不僅限於成像,還可根據原始圖像數據檢測微小缺陷、異物,甚至隱藏缺陷。ADE CR-81利用專門的掃描電子顯微鏡（SEM）相機生成晶圓或掩模表面令人嘆為觀止的詳細3D圖像。這使得它能夠檢測到低於大多數其他檢查系統分辨率的表面和地下缺陷。該單元使用高級算法執行缺陷分析,該算法可以自動識別3 D圖像數據中的可疑形狀和模式,並標記它們以供進一步檢查。在過程的任何時候，操作員都可以采取手動控制，並進一步分析標記的缺陷。KLA CR-81與一個檢查機器人集成在一起，使它能夠自主檢查大批量晶片或口罩。這使操作員比手動系統提高了效率。除了上述功能外，該機還帶有用於故障隔離和分析的內置軟件工具。這有助於工程師了解缺陷的來源,並迅速實施糾正措施以消除將來的缺陷。總之,TENCOR CR-81是一種功能強大、功能強大的掩模和晶片檢測工具.它結合了先進的檢測技術和集成的機器人，使其能夠快速準確地檢測到甚至微觀尺度的缺陷。由於能夠快速隔離和分析這些缺陷的來源，CR-81是各種集成電路制造過程中的寶貴工具。