二手 ADE / KLA / TENCOR CR-83 #9115144 待售

ADE/KLA/TENCOR CR-83是為現代半導體制造而設計的高精度掩模和晶圓檢測設備。它是一個模塊化且可擴展的系統,具有卓越的靈活性和可擴展性,結合了高端光學、高速成像和高級計量技術,提供一流的缺陷檢測。ADE CR-83旨在檢查各種復雜的基板,包括光掩模、標線和晶片,包括任意圖樣和設計布局。該裝置還能夠檢查暴露的矽片是否有小顆粒缺陷，如顆粒、空隙、外圍瘀傷和丘陵。KLA CR-83由光學構型、二維檢測器陣列和各種采樣級組成.光學器件的設計可以適應從可見光譜到紫外線光譜的各種照明波長範圍。此外，可以調整工作距離，以最大限度地放大要檢查的圖樣。探測器陣列由兩臺高分辨率固態攝像機和一臺激光幹涉儀組成。該探測器陣列設計用於快速、精確和三維測量。機器還包含一個樣品旋轉階段，允許樣品以不同角度進行檢查。此外，樣品表可以調整到不同的高度，容納不同類型的基板。該工具還可與自動聚焦和自動對準系統集成在一起，用於精確控制和自動檢查。此外,TENCOR CR-83還提供了一組獨特的圖像處理工具來查找缺陷並確定其優先級,以便進行快速分析。這些工具基於混合的模式識別算法、光學處理、閾值和圖像比較。這使用戶能夠確定關鍵缺陷的優先級,以便進一步分析。CR-83還具備先進的計量能力，能夠對缺陷進行詳細的表征。這包括使用X射線和電子顯微鏡、化學蝕刻和原子力顯微鏡，以確保準確性和可靠性。ADE/KLA/TENCOR CR-83是半導體制造的絕佳選擇,提供卓越的精度、可擴展性和靈活性。憑借其廣泛的特點和功能，該資產可以進行高精度的掩模和晶圓檢查，快速識別缺陷，為半導體制造提供最高質量的保證。