二手 ALLTEQ LFI 3010 #9028586 待售

ALLTEQ LFI 3010掩模和晶圓檢測設備是一個自動化、高精度、非接觸式、三維檢測和計量平臺,專為半導體制造商或其他需要缺陷檢測能力的行業而設計。利用矽晶片表面上的激光幹涉測量方法，精確檢測、分析、測量異物、瑕疵等異常。該系統由多軸級、激光幹涉儀、照相機、連接計算機的監視器、激光源和自動控制軟件組成。舞臺被設計成圍繞一個樣品旋轉，讓激光束追蹤晶圓的表面輪廓。激光幹涉儀在三個維度上測量表面輪廓，精度為1nm。單色數碼相機在晶圓表面上拍攝反射物體和模糊的圖像。激光光源將遮罩上的圖樣照射到晶圓上，以檢測3納米缺陷。軟件單元被編程為識別和檢測小至3納米的缺陷和表面輪廓的偏差。它可以檢測到各種異物，如粉塵、劃痕、汙染和其他非均勻性。機器可以被編程為掃描整個晶片，檢測缺陷，對其進行表征，以3D方式進行測量，並根據嚴重程度進行分類。一旦發現缺陷,將根據嚴重程度對其進行分類,並生成3D圖像。LFI 3010設計方便用戶且易於操作。它配備了方便的圖形用戶界面（GUI），允許用戶監控自動視覺工具並訪問其功能。資產的自動化操作允許用戶快速捕獲、分析和評估晶圓上的缺陷。ALLTEQ LFI 3010非常適合半導體公司或任何其他需要檢測和分析缺陷和缺陷的行業。它是質量控制、快速解決問題和產品開發的寶貴工具。LFI 3010具有超高精度和非接觸式三維檢測和計量功能,是測量和檢測嚴重缺陷和缺陷的經濟高效的解決方案。