二手 ALLTEQ LFI 3010 #9266249 待售

ALLTEQ LFI 3010是一種通用的自動掩模和晶圓檢驗解決方案,旨在提高半導體制造的質量保證。LFI 3010憑借其先進的光學計量設備，不僅檢測了各種基板上的缺陷，還測量了掩模本身的關鍵結構。系統使用先進的圖像處理和鑲嵌技術，創建一個連續的全視野，沒有縫合或重復。這樣就可以對整個圖層或字段進行一次掃描,以快速準確地檢測缺陷、測量和表征。ALLTEQ LFI 3010還具有微分解和宏分解成像功能的獨特組合。在微觀層面，該單元利用先進的反向散射圖像來識別和測量細粒度結構上的底層缺陷和關鍵結構。在宏觀層面，使用對比度和反向散射圖像的組合來識別和測量各種基板上的表面缺陷，如針孔。此外，機器還配備了全自動缺陷分類流程，快速準確地識別缺陷類型、其大小、形狀等特點。這可用於觸發適當的故障分析方法,以識別和排除生產線中的問題。總體而言,LFI 3010是一種高效可靠的掩模和晶圓檢查工具,具有令人印象深刻的一系列功能。利用先進的成像和缺陷分類算法，該資產能夠輕松地檢測和測量各種缺陷和缺陷。此外,它的自動化缺陷分類過程簡化並簡化了缺陷分析過程,從而提高了生產線的效率。