二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass 200 #9280961 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Compass 200是一種綜合性的掩模和晶圓檢測設備,可對尺寸為0.25 µm的先進結構進行表征。該系統具有高分辨率成像能力,可實現高精度光學檢查,提供卓越的聚焦深度和邊緣分辨率。它是一個集成了一系列軟件工具的解決方案，可以為不同的模式檢查任務快速設置和優化過程控制。它與行業標準的Allegro掩模檢查套件集成在一起，提供高達每小時200晶圓的高效吞吐量。該單元設計用於執行一些關鍵測量，如叠加對準和光刻驗證。采用先進的CCD和激光二極管技術進行晶圓選件，采用視頻對準激光器進行掩模對準，確保了光滑可靠的圖樣檢測結果。該機器還得益於高精度的機械元件和完全自動化，從而確保了可重復的結果。這樣可以確保滿足客戶的所有要求。此外,AMAT Compass 200還提供了Paragon模式識別功能,用於更復雜的結構,如接觸孔、通孔和掩模模式內的線條。此功能允許基於規則的內置識別每個特征的各個特征,並提供測量其大小和間距的功能。這減少了檢查過程的時間和工作量,並提高了準確性。該工具還具有3D成像模塊,提供卓越的深度提取精度和增強的質量控制。這將有助於減少缺陷或返工的數量。此外,它還有大量預定義的CD變體和流程節點庫作為後盾,以進行有效的掩碼審查,從而幫助節省時間和準確的結果。APPLIED MATERIALS Compass 200掩模和晶圓檢測資產的綜合軟件解決方案和硬件功能確保了高精度的結果和快速的檢測速度。這對他們的客戶有利,因為它確保了精確的光刻驗證,並改進了流程控制的工作流程。