二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #293607489 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300是一種高分辨率的掩模和晶圓檢查設備。該系統為晶片樣品提供空中和聚焦成像，提供準確可靠的方法和快速采集時間，以便進行完整的檢查。該單元適用於多種檢測場景，如晶圓廠參數自動檢測、CRM檢測等。AMAT Compass Pro 300包括控制器、步進電機和運動控制級,以及易於操作的用戶友好觸摸板顯示器。它還提供高功率二極管泵浦固態（DPSS）激光器，寬波長範圍為370至1050 nm，高重復率為10 kHz。2 x 2「或4 x 3」視場與PIN二極管和IRCCD相機傳感器相結合,可實現分辨率低至1 μ m的對焦成像。此外,CCD攝像機提供256個灰度和4毫秒全場曝光時間。該機具有自動化的多重運行模式，以確保精確和可重復的參數掃描，而主動照明控制工具則允許激光功率和掃描速度等可調節的操作參數。軟件選項包括手動和自動控制模式,以及自動缺陷檢測和分類資產,以提供快速、準確的檢查結果。該型號還配備了可選的模具級檢測（DLI）樣品級，提供了方便檢測模具級部件的能力。DLI設備包括樣品處理自動化、自動晶片級定心和表面跟蹤以及模具級自動對焦和缺陷分析。此外,APPLIED MATERIALS Compass Pro 300還配備了多種配件,包括用於產生高偏振對比度SV圖像的透鏡和濾鏡轉塔、前端透鏡、光束采樣器、衰減器以及可選的熱板。該系統有保護性大氣版本，適用於檢查受控大氣下的關鍵部件。Compass Pro 300是一個用戶友好的單元,旨在提供精確可靠的結果,快速準確地檢查口罩和晶片。它支持各種檢查方案,包括可選的模具級檢查和一系列附件,所有這些都安裝在適合現有晶圓廠環境的緊湊機器中。高分辨率成像、快速采集時間和自動化過程控制使其非常適合各種檢查要求,並有望徹底改變關鍵組件的檢查。