二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass Pro 300 #9235264 待售
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ID: 9235264
Patterned wafer inspection system
Sun UltraSparc (10) Unix workstations (RAM: 1GB, 40 GB)
HD With spare SCSI card and 20/40 GB tape drive
1140-A0291W / J20-8S-12K-24
1140-A0291W / J20-8S-12K-23
Spectra-physics 0412-0515 US / 0135-0968 Rev B
ASYST C0094-0948-01
ASYST 6900-1551-01 FI computer SmartPlus 1.83
100395-0311/00 Rev C / Cable X-axis motor encoder hall
SKU-G7-K-2317-1 Master IP computer
1951608 / IP1 Genesis camera interface cable
1951363 / 740-26817-AD IP1/ADC1, 0090-A0780
ACS DR14 Rev B2 Compass 300 X-Axis driver PCB
370-1586-03 / NESUN1 Sun compact mouse
Cooling fan sparcstation: 12 V
ANORAD Commutation x,y sq box
Rocketport interface bd in FI computer
ASYST IsoPort, 300 mm (LP B)
ASYST 2200 LP with MOCA (200 mm)
Video card in Sun Sparcstation (2) computers
Aligner and stage to FA blade
Light from SP laser head: 532 nm
Light laser diode: 808 nm
LP Cassette ID (Port A and Port B) communications
Rocket port interface board
Back-up tapes and sun solaris Sparcstation (2) PC
OLYMPUS Microscope with white light lamp, 50 W
4610 HLX, 50 W, 12 V
SP Laser head: 532 nm (light)
Ultra-Sparc (10) unix workstation
RAM: 1 GB (HD: 40 GB)
Laser detectors: 1.1 W, 28.5 A / 16.5 Degree Cd
Laser output: 2.4 W, 31.92 A / 16.42°C
Laser diode (current very high)
Laser head and diode testing
Rocketport breakout box has been replaced
(4) FFU Fans
6900-1551-01 SmartPlus 1.54, Patch 1, OS NT4.0, SP 6
Compass 300 X-Axis motor hall encoder cable, 25"
Master IP computer
Compass 300 Dark field detector
With IP1 Computer cable and (2) detectors
EDR PMT Detector assy
X-Axis driver board
Sun compact mouse with live host tool
Does not include camera IP1 interface cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS Compass Pro 300是一種面罩和晶圓檢查設備,旨在幫助在半導體行業內工作。該系統對掩模和晶片上的結構進行深度計量檢查和成像。這個單元的控制軟件，綜合晶片檢查（CWI），讓用戶能夠檢查有圖樣的和無圖樣的晶片，並通過一個全面的計量和成像平臺對它們進行徹底的檢查。該機由兩個集成組件組成，即刀具的控制臺及其成像站。控制臺容納資產的機動化階段，這些階段控制樣品的位置，並提供真空、壓縮空氣和其他必要的氣體。此組件還包含用於精確測量和成像的模型的探測和成像元素。成像站包含一個高分辨率CCD（電荷耦合器件）相機，用於捕捉和鑒定標本表面上的結構或特征。該設備旨在利用光學技術通過測量和成像能力檢查半導體形狀和圖樣。它可用於識別整個試樣中關鍵尺寸的錯位和變化,以及用於缺陷檢測。它還可以運行光源聚焦算法（LSFA）以分析晶圓圖像。利用光學和激光幹涉測量相結合的系統可以測量樣品及其結構的地形，從而創建樣品表面的三維顯微圖以查看微觀結構。該單元的傳感器和探測器有助於識別、確認和分析樣品上的不良缺陷。該機還配備了專門的工具，用於自動故障分析和維修跟蹤。AMAT Compass Pro 300是一款功能強大的工具,可提供可靠、準確和可重復的結果,用於檢查半導體行業中的掩模和晶片。其先進的控制軟件和全面的檢測能力使其成為質量保證和生產控制的絕佳工具。它體積小巧,易於使用,非常適合大多數實驗室和生產設施。
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