二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Complus 3 #9353217 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Complus 3是一種為半導體生產而設計的掩模和晶圓檢驗設備。它是一個全面的IC掩模和晶片的檢測和測量系統,然後才能制造芯片。該單元由晶圓檢測站、對準機、子系統和主機計算機組成,用於數據處理、分析和報告生成。該工具具有高分辨率掃描電子顯微鏡(SEM),用於掩模和晶圓表面的高分辨率成像。它用於創建IC掩碼和晶片的2D和3D圖像。資產使用自動和手動工具的組合來檢查掩模和晶圓表面的物理缺陷和非可視化特性。晶圓檢測站掃描每個晶圓的表面並捕獲高分辨率3D圖像。這樣就可以準確評估任何表面缺陷,如遮罩缺陷、錯誤對齊和其他缺陷。對準模型有一個自動電機驅動級,將晶片對準樣品視圖端口進行精確檢查。該子系統具有高分辨率圖像比較、高級著色校正和非視覺缺陷檢測算法等多種功能。利用先進的圖像分析算法,設備能夠檢測、報告和分類表面缺陷。它可用於缺陷的自動分類和嚴重程度評估,以及缺陷的大小、形狀和性質的手動評估。此外,系統還提供高級報告功能,能夠在安全數據庫中存儲和分析結果。該單元還具有一系列自動化功能,如自動舞臺移動、控制光線強度、自動搜索模式以及將圖像和測試結果導出到外部位置。這樣可以在檢查掩模和晶片基板時提高吞吐量和可靠性。總而言之,AMAT Complus 3是一款功能強大、全面的用於半導體生產的面膜晶圓檢測機。它具有高分辨率的成像功能、自動化工具和高級數據分析功能,使其成為監測IC掩模和晶片質量的有效工具,然後才能制造成芯片。
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