二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Complus 4T #9276171 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Complus 4T Mask and Wafer Inspection equipment）是一種用途廣泛的自動化系統，專為光掩模和晶圓基板的檢驗和計量而設計。該單元作為過程步驟的組合，包括缺陷審查、自動模式識別和分類以及自動檢測到的缺陷的校正。其直觀的用戶界面能夠有效檢查光掩模基板，從1.0 µm小到50 µm大。AMAT Complus 4T Mask and Wafer Inspection machine能夠檢測和隔離各種缺陷,如線寬、角、間隙和線寬變化。此外，該工具通過使用可調強度設置、坐標、顯微鏡設置、掃描頻率和掃描速度，提供全面的過程控制。通過這些設置,資產能夠檢測和分析孤立的缺陷和復雜的缺陷,如線端不對稱、過度蝕刻和空白區域。APPLICED MATERIALS Complus 4T Mask and Wafer Inspection模型利用一個自動化階段，用於精確定位晶圓和光掩模基板，以實現掃描的最大精度。這個階段被耦合到一個整體式物鏡，放大範圍為10x-60 x，允許檢查各種特征尺寸。該設備設有一個校準系統，用於維持掃描設置的準確性，這使得該單元在重復循環中能夠保持在0.05 µm以內的準確性。除了生產能力外，Complus 4T Mask和Wafer Inspection機器還支持廣泛的缺陷審查選項。這包括用於檢查薄膜結構和缺陷拓撲數據的各種圖像捕獲模式。該工具還具有先進的自動缺陷審查資產，可以根據預設閾值快速分析和分類缺陷。還提供了一個可選的缺陷分析儀來提供額外的缺陷分類和數據分析。AMAT/APPLIED MATERIALS Complemus 4T Mask and Wafer Inspection Model provides a low TCO with colsible explution solutions for mask and wafer inspection.這種設備能夠提供高水平的檢查準確性和可重復、可靠和方便用戶的操作。所有這些組合允許用戶同時使用一個集成系統執行掩碼和晶圓檢查。