二手 AMAT / APPLIED MATERIALS / ORBOT WF 736 XS #9011672 待售

ID: 9011672
Patterned wafer inspection system, 8" 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/ORBOT WF 736 XS是一種自動化的掩模和晶圓檢測設備,設計用於為工程師提供高性能缺陷檢測和深入分析。該系統采用掃描電子顯微鏡(SEM)、共聚焦顯微鏡、熒光成像等無損成像技術的組合,快速檢測半導體制造過程中晶片或掩模表面的問題。AMAT WF 736 XS具有許多高級功能,可有效檢測晶片和掩模上的缺陷。該單元利用圖像識別算法來識別形狀、特征和其他潛在缺陷特征,然後使用汽車級AI對其進行分類並檢測其在表面的位置。此外,具有高精度物鏡的像素精確形態學缺陷識別機可幫助工程師識別和診斷即使是最小缺陷的問題。它有一個高度敏感的光學工具,空間分辨率為5海裏,使得它能夠檢測非常精細的形狀和輪廓微觀結構。資產還有一個自動掃描機制,可以精確檢測和測量15 x 15厘米大面積的缺陷。ORBOT WF 736XS還具有智能晶片索引功能,允許檢查多個晶片而無需重新校準模型。此外,該設備還為工程師提供了靈活可調的對比度和局部對比度增強,以便更好地識別缺陷。它還使用了多種缺陷分析工具,如輪廓分析、光學接近校正、圖像分類和3D缺陷重建。此外,各種可視化模式(如放大視圖和3D模式)使用戶能夠以不同的方式查看缺陷。總而言之,AMAT WF 736XS是一種先進的自動掩模和晶圓檢測系統,旨在極高精度地檢測和分析缺陷。通過采用各種成像技術、高精度光學系統、先進的缺陷識別算法和幾種可視化模式,該單元幫助工程師快速準確地識別缺陷,以達到最佳效果。
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