二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SEM G5 MAX #293647406 待售

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ID: 293647406
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Defect review system, 12" Active damping subsystem Load lock G5 Main chamber PFU Unit / Line conditioner X-Y Stage and motion controller, 12" BROOKS AUTOMATION ETU True beam mapper E-Chuck wafer holder and controller Factory Interface: SMIF Missing parts: PAL Analog board HVPS ITU Distribution board VAC Distribution board Scintillator blade PAL Digital board CCS Board CVC Board ITU Controller ITU Driver OM Module DMD Sensor LFS OM P.S IPU ETU Controller 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SEM G5 MAX是一種高精度的掩模和晶圓檢測設備,提供深次分辨率的測量能力和特征尺寸的無損分析。該系統旨在處理最精確的應用程序,使客戶能夠獲得符合行業標準的結果。AMAT SEM G5 MAX使用掃描電子顯微鏡(SEM)來測量半導體基板、掩模和光掩模上存在其他檢查技術難以檢測到的缺陷的特征。最先進的設計使該設備能夠以極高的精確度測量小至0.01 µm的樣品,非常適合希望實現90 nm以下分辨率的客戶。它能夠以極高的精度對掩模和晶片表面進行缺陷檢查,從而能夠及早發現和修復否則很難檢測到的缺陷。機器的電子光學和自動測量有助於減少時間和降低成本的低到大體積的檢查。它的高分辨率能力提供精確的分析,而它的無損分析使其成為大容量測試應用的理想選擇。G5 MAX還包含多種檢測模式,如可變斑點大小、可變電流和可變級,允許對小特征進行精確準確的檢測。除了功能外,APPLIED MATERIALS SEM G5 MAX還配備了功能強大、用戶友好的操作工具。這包括一個內置編輯器,允許用戶根據自己的需要自定義和配置設置,同時還可以通過其高級測量工具快速輕松地訪問數據。軟件還支持多種文件格式,使客戶能夠輕松存儲和分析檢查數據。總體而言,SEM G5 MAX是一種有效和可靠的掩模和晶圓檢查資產,旨在滿足最苛刻的測量要求。它能夠使用亞微米分辨率處理大型特征尺寸,因此對於那些尋求精確檢查的人來說,它是一個極好的選擇,同時為那些有大量需求的人提供了一個用戶友好且經濟實惠的模型。
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