二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300 #9280347 待售
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已售出
ID: 9280347
晶圓大小: 12"
Defect review system, 12"
Wafer shape: Notch
Electron optical system:
Accelerating voltage: 150 V - 15,000 V
Probe current: 10 pA - 1.2 pA
SEM Resolution: 4 nm at 1 kV
Magnification: 200x - 200,000x
Maximum pixel: 1440
Multi perspective SEM imaging
VC model
Optical microscope system:
Bright light microscope
Dark field microscope
Optical microscope: 5x / 20x / 100x
SECS / GEM Communication interface:
Defect file format
Output file format
Host communication (SECS II / GEM /HSMS)
Wafer stage:
Stage accuracy: ±1.5 um
Unique die to die
Automatic defect review
Automatic defect classification
Automatic process inspection
No E-Chuck stage
Anti charge
Peripheral:
Port type 1 and 2: OCLP
With EDX
Tilt and rotation
Remote work station
Resolution target: Regular
Signal tower: Standard
EPDU
No FIB.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300是一種精密的掩模和晶圓檢測設備。該設備采用尖端光學和圖像處理技術,提供高分辨率、亞微米成像和檢測功能。該DR-300具有獨特的掃描平臺,為32 nm及以下節點提供一致的高信噪比。它有一個角度照明系統，使離軸成像和多束，使靈敏度和吞吐量增加。此外,DR-300還提供了無與倫比的高速臨界尺寸成像,可以比以往任何時候都更快、更精確地分析結構。CX DR-300支持一系列不同的映像功能。它具有直接光束成像（DBI）,這是一種獨特的技術,旨在減少反射和像差的影響,並為具有挑戰性的樣品（如散射角較窄或高度較大的樣本）提供更清晰的成像。此外,它還具有離軸照明角度和多光束成像功能。多光束成像本質上是暗場成像和透焦成像的先進組合，因為它不依賴因反射而產生的對比度，從而允許以極高的精確度成像超細金屬結構。最後,CX DR-300提供全面的缺陷檢查功能,包括2D和3D圖像重建、自動缺陷分類和增強的自動分類功能,以及通過成像進行自動尺寸測量。它具有內置的智能缺陷審閱功能,可輕松審閱審閱圖像,並為進一步查詢或進一步審閱提供建議。所有這些功能結合在一起,使AMAT SemVision CX DR-300一個出色的掩模和晶圓檢測系統,適用於任何必須具有可靠和精確成像的行業。它提供了頂級性能和保證的測量準確性,從而實現了最高級別的質量保證。這種設備是任何希望確保高效和可靠的檢驗過程的制造商所必需的。
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