二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX Plus #9205642 待售

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ID: 9205642
晶圓大小: 8"
Defect review system, 8" Tool performences: ETU ITU TILT OM PAL Stage Rotation SEM: Vacuum Minimodule values EDX: Temperature Calibrated.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX Plus是一款為半導體工業設計的掩模和晶圓檢測設備。高級系統具有橢圓儀、表面檢查模塊(SIM)和強大的集成軟件包。先進的單元提供高清分辨率、晶圓輪廓和驗證、眾多的測量能力以及低擁有成本。橢圓偏振儀的設計是為了以極高的精度監測晶圓的材料層。它同時使用單譜和多譜極化來分析晶圓。該機器能夠以1nm的分辨率檢查高達30nm的層。這款橢圓儀還支持光刻材料和介電材料的低溫測量模式。表面檢查模塊(SIM)允許對表面地形、汙染、應力等進行詳細分析。包括9.1百萬像素CCD攝像頭,可實現高分辨率成像,捕獲晶片中最小的缺陷。此外,SIM能夠使用3D成像技術快速獲取可用於監控設備性能的表面輪廓。CX Plus集成了功能強大的軟件包。該軟件可方便地訪問硬件的所有功能,包括一次管理多個晶片的能力,以及一個功能強大的優化工具,幫助最大限度地提高檢查工具的準確性。AMAT SemVision CX Plus是設計用於半導體行業的先進掩模和晶圓檢測資產。該型號采用橢圓儀和表面檢查模塊,配有910萬像素CCD攝像頭。該設備能夠檢測分辨率為1nm的高達30nm的層,並且能夠檢測晶片中最小的缺陷。CX Plus還具有集成軟件包,可輕松訪問所有硬件功能,並包括功能強大的優化工具以最大限度地提高準確性。
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