二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX #9185367 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX
ID: 9185367
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2004
Review station, 8"-12" E-Beam Resolution: 4 nm at 1kV EDX Automatic defect review and classification capability Multi perspective imaging SEM Autofocus SONY 990 CCD Optical video image: 2.5x, 20x and 100x Vacuum chamber (3) Wafer tilt positions (0, 15 and 45 degrees) SECS II Compatible (2) BROOKS AUTOMATION Fixed load ports SGI (Main computer): IRIX Silicon graphics EDX: Sun SPARC 5 Operating system: Solaris MEC, WHC / Image computer: Windows NT NFS Supports Missing part: Hard disk drive 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX是為最苛刻的半導體環境設計的掩模和晶圓檢測設備。它擁有市場上最高的吞吐量,擁有著名的自動掩模和晶圓處理、校準和對準系統。該系統具有可擴展性和可升級性,能夠滿足晶圓和掩模檢查的最先進要求。CX的設計采用了AdaptiView軟件平臺,以確保精確識別和測量掩模圖樣和相關結構,如光刻線緣粗糙度(LER)和臨界尺寸(CD)測量。此外,軟件平臺還提供了晶圓和標線測量的最高精度,以及監控模具表面由於多層模式而產生的增長和變化的能力。該單元的成像技術采用多種鏡頭選項,從遠心和非球面到浸入式和3D,以及自己專有的「光箱」照明,具有高分辨率和多色圖像。它支持廣泛的晶圓基板,包括SOI、矽、玻璃等。在檢查能力方面,CX具有屈服管理軟件(YMS)等一系列功能,允許用戶直觀地分析缺陷,實現更快的屈服改進。用戶還可以定義流程公差和自定義規則以減少錯誤調用並以統一和高效的方式對其進行分類。此外,CX還提供了一種直觀的掩碼檢查報告生成機器,具有統計分析功能,能夠更快地進行故障隔離和分析。此外,該工具還提供了一整套手動(MPD)和自動(CSPD)粒子檢測和評估功能。它采用最新的光束掃描技術進行晶圓和標線檢查,以及最準確和最新的故障檢測和校正算法。最後,AMAT SemVision CX Asset是一個先進的模型,旨在滿足半導體應用中最苛刻的要求。它提供自動掩碼和晶圓處理、校準和對準系統,以及卓越的成像技術和最新的光束掃描技術。此外,它還提供了高級軟件平臺,用於高效的缺陷檢測、分析和故障隔離。
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