二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB #9375215 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB
ID: 9375215
Defect review system Process: Metrology.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB是一種面罩和晶圓檢測設備,設計用於提供自動化、快速和無損缺陷檢測和分析。系統使用聚焦離子束(FIB)來訪問埋在表面之下的特征。該單元基於電子束相互作用技術,已經適應晶圓和掩模。FIB指向懷疑有缺陷的樣品區域,然後由機器檢測並鑒定其特征。梁還用於截面局部曲面,以便研究缺陷的內部幾何形狀。SEM可以檢測到各種各樣的缺陷類型,包括表面和地下缺陷如劃痕、斷裂、點缺陷、局部成分變化和微米級顆粒。AMAT SemVision G3 FIB的設計采用了用戶友好界面,便於工具控制。資產包括各種階段,如樣品安裝階段、工作室階段、輻照階段。它還具有先進的成像模型,具有大的樣品室.圖像采集和圖像分析模塊可以有效地定位和分析缺陷。此外,設備還支持各種輻射源,如標準的法拉第杯、CCD成像系統,以及離子能量光譜儀和離子反向散射光譜儀的組合。它還具有先進的圖像重建單元來分析各種地形、表面和界面特征。機器的高速掃描能力,加上對波束電流的精確控制,使缺陷檢測和分析得以快速準確。該工具的成像能力可以從各種角度和視圖捕獲高分辨率圖像。這使得它非常適合用於過程控制和故障分析。應用材料SemVision G3 FIB是一種功能強大的檢查資產,能夠以最小的努力提供快速、準確的結果。復雜的成像模型可以準確可靠地檢測和表征地下和表面缺陷。用戶友好的界面和硬件功能使其易於使用,其高速掃描功能可實現高效的缺陷檢測和分析。
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