二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite #293821128 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite
ID: 293821128
Defect review system E-chuck No external dry pumps.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite是一種用於檢測半導體芯片和集成電路缺陷的掩模和晶圓檢測設備。它由高分辨率成像階段,結合精確照明和先進的光學成像技術組成。該系統可用於檢查200毫米至300毫米大小的晶圓,分辨率高達0.1微米。該單元采用CCD成像技術,通過捕獲每個單獨的半導體結構及其在晶片上的位置來工作。然後,機器使用算法將特征的形狀與無缺陷模板進行比較,並將其與先前接受的內核或可接受的半導體規則進行性能比較。攝像機直接安裝在晶圓上方的精確導航臺上。成像晶片用一組LED照明,精確控制照明強度、方向和偏振。這種光線增加了每個單獨結構的圖案,有助於定義細節,因為細節太小,肉眼看不到。該燈還可以揭示缺陷、集成電路和其他特性,以及在識別可能存在的缺陷時增強對比度。成像工具允許同時進行高速成像和增強,並集成高低對比度信息,以便檢測潛在缺陷的光學特征。資產由多用戶、多任務圖形用戶界面控制。這允許多個用戶訪問模型並運行並發作業。可以將保存和分析的作業保存為文件格式,其他AMAT軟件應用程序可以使用該格式。該設備還擁有可定制的工具和流程,以及廣泛的光學濾鏡、算法和配方庫。該系統能夠自動檢測模式拓撲和缺陷,以及多模式掩碼分析、過程不穩定性分析和非可視化復合流分析。總體而言,AMAT SemVision G3 Lite是識別和檢查集成電路和半導體芯片缺陷的強大工具。它結合了精密成像、先進的光學技術和復雜的算法,為確保這些復雜組件的質量提供了可靠的方法。
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