二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite #9280960 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9280960
Defect review system, 12"
Specifications:
± 0.05 mm (SEMI M28)
775 ± 25 um
Notched wafers
Carrier: (2) FOUPs 25wf, 12"
Interface: (2) FOUP (Continuous flow operation)
Supporting remote units
EBARA ES80 Dry and vacuum pumps
EPDU
UPS: 3 Phase, 208 V, 60 Hz
Vacuum block assembly
Fixed system configuration:
Wafer ID reader: Backside bar code wafer scribe reader
P I/O For OHT (Hokuyo): VERITYSEM AUTO5
Operator access switch: VERITYSEM AUTO8
Wafer mapping capable: Through beam mapper VERITYSEM-AUTO6
Optical FOV: Large optical FOV 100x um 20x and 2.5x
Communications protocol: SECS-II GEM+
HSMS 300 mm as VERITYSEM AUTO10, E84,E87,E90,E94 (TAR1.5)
Tilt capability: Tilt function NA
Contact hole profile grade: SECS capable output VERITYSEM-SYS2
Wafer stage: Anorad stage
Data back up: Monthly PM backup
EMO: One per side of main body and one on operator console
Interlocks: ETU Access panel
Signal tower:
Red / Yellow / Green / Blue:
Upper left of front and upper right section of loader on maintenance side
Installation requirements: CDA Bulk gas
(l/min) per SEMVision SSPS:
CDA Peak flow: 120
Ave flow: 16
LPOCs Req: 4
Electric supply: 120 V, Single phase, Peak flow: 1, 120 V
Water: (l/min) per SEMVision SSPS
PCW Peak flow: 75
Exclusive to G3
Stage: Z25 Oil, stage acceleration 1/4g, clean cables
Scan electronics: MEC
Computer: IP and WHC and MEC and EDX Computer
Power supply: HVPS, CDM
SEM Column: Column version NA
OM: DF/BD
Dry pumps not included
CE Marked
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite是一種掩模和晶圓檢查設備，設計用於對基板和電路模式進行精確測量。該系統建立在一個開放的模塊化平臺上，可以方便地與現有的測試和計量系統集成。它配備了高分辨率成像工具，以足夠高的分辨率獲取包括臨界層在內的圖樣結構的精確圖像，從而能夠進行精確測量。該單元采用高速圖像采集技術，可以在短時間內對大表面積進行分析。它還結合了復雜的圖像處理算法，以增強圖像，檢測缺陷，並能夠更精確地測量尺寸和形狀。這臺機器配有一套功能強大的軟件工具來分析獲得的圖像。這些工具允許將測量值與參考數據進行比較,並用於驗證用於識別設計缺陷或缺陷的特定標準。該工具還配備了一系列測量功能，能夠對各種參數進行精確和高分辨率的測量，包括線寬、最小寬度、懸垂、線性、邊緣粗糙度、接觸寬度、蝕刻深度、直徑和錐角。此外,還結合了透射和反射成像功能,以便於準確比較基板多層之間的絕對尺寸和尺寸。該資產還符合行業標準，如SEMI M13標準，使其與現有的計量工具兼容。此外,它還具有用戶友好的界面,允許用戶快速高效地設置和使用模型。設備的所有特性和功能都可以通過基於Web的用戶界面進行控制。AMAT SemVision G3 Lite是用於掩模和晶片檢查的理想解決方案,為用戶提供高效而全面的基板和圖案測試覆蓋。該系統采用最新的光學和成像技術進行設計,並利用強大的圖像處理功能來確保卓越的圖像質量和準確性。其用戶友好的界面和可定制的測量例程使其成為各種應用程序的理想選擇,允許用戶在保持吞吐量和產品質量的同時節省時間。
還沒有評論