二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 HP #9399576 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5 HP Mask&Wafer Inspection Equipment是一種高性能、高通量的系統,用於快速準確地檢查和表征各種材料和工藝層的光刻圖樣。該單元為無室和全場檢查提供了一整套功能,包括先進的模式識別能力和可編程圖像分析工具。它能夠檢測各種光刻問題,如缺陷、尺寸變化和圖樣不均勻性,從而導致半導體生產無與倫比的產率。G5 HP基於模塊化體系結構,其中包括幾個基本組件。機器的核心是功能強大的多用途CCD相機。這款相機能夠捕捉分辨率高達1微米的圖像,並能夠捕捉光源調制,用於產生有效範圍的調制傳遞功能。CCD攝像機安裝在溫度控制的攝像機工具中,並與PC同步,從而可以實時控制資產。除了相機之外,G5 HP還采用了先進的型號級光學設備,具有極大的8:1光學變焦、大視野和先進的成像光學,能夠分辨出具有高對比度的小特性。交互式觸摸屏用戶界面實現了高級功能和工具的易用性,具有上下文幫助和對多種語言的支持。該軟件也非常先進,為晶圓和掩模模式識別、缺陷和尺寸分析以及平版印刷模式的計量和表征提供了一整套工具。該軟件還可以通過一個標準腳本庫以及自定義工具輕松定制,以適應客戶的需求。G5 HP設計為在生產環境中穩定可靠,具有可靠的設計和行之有效的系統工程。強調不斷改進設備,配備直觀的客戶支持機器,以實現快速開發和部署。AMAT著名的SemVision Inspect和DataMatch軟件套件也支持該工具,從而實現了完整的控制和數據解釋。此資產非常適合大容量、高吞吐量的生產應用程序,提供準確的結果,采樣率高,每個樣本占用空間成本低。
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