二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #293589564 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5
ID: 293589564
優質的: 2010
Defect review system 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5是一款領先的自動掩模和晶圓檢測設備,專為高性能、過程控制和成本效益而設計。該系統的先進成像技術是半導體光刻操作的理想選擇,它可以捕獲曝光的掩模和成品晶片的高分辨率圖像,從而提供詳細的可見性和缺陷分類。G5是一個創新的全自動單元,利用功能強大的CPU/GPU單板處理器和先進的圖像處理軟件來檢查掩碼和晶片。該機器的高放大倍率、高端Lumenera傳輸級可提供6英寸和8英寸晶圓尺寸以及2倍Reticle尺寸的自動成像。高性能傳感器提供所有缺陷類型的清晰圖像,即使是小於1 µm的類型。該工具利用TrueColor、Contrast ImageMasking、Chromatic Defocus等高級分析來檢測、測量和分類缺陷。G5的快速啟動和最低限度的維護使其成為非常經濟的檢驗資產。一臺計算機同時控制掩碼和晶片檢查功能,模型通過獨特的GGI許可證與AMAT/APPLICED MATERIALS晶片跟蹤設備完全集成。該單元的高級成像和分析使客戶能夠制作精確的串聯3D晶圓圖像,在45 nm節點及以下使用關鍵尺寸檢查(CDI)驗證現有條件,檢測汙染並測量Deltas,而無需離線分析。該系統還可用於初次檢查後的缺陷優先排序,以便快速識別和糾正反復出現的缺陷。G5的設計滿足了大批量生產中248nm、193nm和157 nm激光器的持續輸出和生產率要求。全自動設備可以每小時測量、驗證和分析數百萬張圖像,從而縮短檢查時間並提高吞吐量。作為一種集成解決方案,G5降低了運營成本,同時提高了過程控制和準確性,使客戶能夠實現其生產目標。使用G5,用戶可以從提供的高級分析中受益,從而幫助生產無缺陷且符合指定產品規格的高質量產品。
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