二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #9132901 待售
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已售出
ID: 9132901
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Defect review system, 12"
EFF and TB Mapper
Tin Resolution Target
Integrated EDX Spectrometer
EDX Stage Assembly
SW: V5.4.500
4 Colors Programmable Signal Tower
Operator Free Unpatterned Wafer Review
API & Voltage Contrast
G1 Load port
Standard G1 Panel
Moving Omron V640 − Carrier ID Reader
Light Curtain Connection
EVSI USA 208V 60Hz w/T.Ring
Standard EPDU
Bitcon for EQT robot
SemVision - 2x300 Ionizer
EDX Extreme
Leak Valve Option
SECS / GEM / HSMS Compatibility
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5是一種集成的掩模和晶圓檢測設備,設計用於檢測和識別先進技術光掩模和半導體晶圓的缺陷。AMAT SemVision G5系統利用包括Deep Flare™在內的一系列先進3D成像技術來實現無與倫比的缺陷檢測靈敏度。集成的全自動視頻檢查和計量引擎能夠對晶片和掩碼進行快速、高度自動化的缺陷審查。APPLIED MATERIALS SemVision G5單元配備高速頻閃和CCD攝像機。閃光燈可提供高對比度的光掩模功能成像,而CCD相機可檢測和捕捉掩模和晶片表面的光敏缺陷。可調孔徑只照亮感興趣的晶片表面積,而大視場則允許探測表面汙染,包括顆粒。Deep Flare技術使用在不同級別和深度捕獲的多個圖像幀來分析芯片中的缺陷並確定其大小和嚴重程度。Deep Flare允許檢查128 nm節點陣列介質等高密度特征,從而提高了對小規模缺陷的靈敏度。SemVision G5工具的計量模塊是一個能夠對光掩碼和晶圓進行全芯片分析的集成框架。該資產高度自動化,包括專門的分析軟件,能夠更快、更準確地審查缺陷。視頻檢查引擎進一步提高了缺陷測量的準確性,並提供了方便的記錄檢查記錄。AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5是一款功能強大的集成掩碼和晶圓檢測解決方案,它將一流的缺陷檢測技術與自動化計量相結合。適用於光掩模和晶片表面的檢測,可提供優異的缺陷靈敏度、可靠性和準確性。
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