二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #9194738 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5
已售出
ID: 9194738
Defect review system.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5是一款先進的掩模和晶圓檢測設備,旨在優化缺陷檢測和制造商工藝優化。其先進、自動化的圖像捕獲和分析技術使它能夠檢測半導體晶片和掩模上的微觀缺陷和特征,否則這些缺陷和特征可能不會被發現。G5采用全自動系統設計,可精確成像和檢查晶圓和掩模表面。其先進的成像單元能夠捕獲和分析分辨率低至0.04微米的圖像。該機器能夠同時檢測設計規則和過程缺陷/特征,因此非常適合各種應用,從過程控制到故障隔離。該工具配有一套全面的硬件和軟件組件,可實現自動圖像捕獲和分析。其先進的光學檢測隧道(ODT)允許對晶圓和掩模表面進行快速、準確的圖像捕獲和分析。ODT還具有圖像捕獲光學列,可根據應用程序將其配置為以自上而下或側視方向捕獲圖像。資產的高速、高精度成像傳感器確保精確的圖像分析。G5還具有許多軟件組件。它包括一個可以快速可靠地比較圖像的評分比較引擎,以及一個可以對捕獲圖像中的模糊進行校正的散焦校正模塊(DCM)。模型還包括一個綜合模式匹配(CPM)工具,它允許以自動化方式比較圖像。G5還具有高級用戶界面。該設備直觀的圖形用戶界面允許方便的導航和簡單的數據輸入,以及清晰的報告。界面是高度可配置的,允許自定義圖像捕獲、分析和評估過程。AMAT SemVision G5系統是為性能、效率和可靠性而設計的。其先進的圖像捕獲和分析單元能夠快速檢測和校正微觀缺陷和特征。其直觀的GUI為操作員提供了易用性,其集成的軟件工具提供了高效的工作流程以及對缺陷和功能的完整分析。這臺功能強大的機器是優化過程控制和執行精確掩模和晶圓檢查的理想解決方案。
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