二手 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision #9308059 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision
ID: 9308059
晶圓大小: 12"
System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision Mask&Wafer Inspection Equipment是一種全自動的半導體計量工具,旨在可靠地檢測Mask和Wafer中的缺陷。該系統利用尼康和施耐德光學技術兩家制造商,允許用戶在適中和高放大倍率之間進行選擇。它還提供了光學反射率、邊緣粗糙度、徑向幾何畸變等多種測量類型,非常適合研究和生產應用。該單元有兩個主要模塊,一個機器控制器模塊和一個圖像捕獲模塊,每個模塊都有自己的一組功能。工具控制器模塊是資產的大腦,負責管理所有模型操作,從獲取圖像到分析數據。它由單元控制軟件、成像控制臺和半導體控制終端組成。此外,它還具有控制操作設置的控制面板和通過USB連接到設備的PC。圖像捕捉模塊包括三個主要組成部分:顯微鏡、顯微鏡適配器和照相機。顯微鏡用於提供放大和詳細成像,而適配器直接連接到相機,有助於確保圖像被系統精確捕獲和分析。顯微鏡既包括視場選擇,也包括光學參數選擇,包括分辨率、視場大小和景深。顯微鏡還提供多種成像模式,以適應各種應用,如亮場、暗場、極化等等。相機是一個高分辨率的數字成像單元,以高達4K的分辨率捕捉圖像。機器的圖像處理軟件使用戶能夠測量晶圓和掩模的各種特性。軟件可以檢測晶片和掩模上的缺陷,並測量其徑向距離和區域,以評估其準確性水平。此外,它還可用於測量光學特性,如劃痕、特定特征上的劃痕、特征平滑或偏差以及其他細節。該軟件還提供圖像處理和分析算法,用於自動缺陷檢測、特征提取以及各種其他用途。AMAT SemVision Mask&Wafer Inspection Tool是確保半導體制造工藝盡可能高質量的高效工具。它能夠準確檢測晶片和掩模的缺陷,測量晶片和掩模的各種特性,是研究和生產應用的理想選擇。
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