二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 3 #293609484 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 3 Mask and Wafer Inspection Equipment是一種自動光學檢查系統,設計用於線後端（BEOL）半導體制造過程。該單元檢查每個Reticle和Wafer,以檢測掩模陣列、計量和對齊中的錯誤。它可用於評估BEOL工藝幾個不同階段的Reticles和Wafers，包括光掩模制造、抗蝕層暴露和蝕刻工藝。該機器由幾個部件組成，它們協同工作，對Reticle和Wafer上的所有特征同時進行高質量、高分辨率的檢查。其中一個主要部件是光束投影儀工具，它容納光束掃描儀和透鏡組件，以及一個標線基板支架。此資產旨在將可見光束聚焦到Reticle或Wafer上,並逐行精確掃描整個表面。然後將光束由Reticle或Wafer反射回光束投影儀模型並進行分析。下一個組件是模式識別單元,用於分析光束投影儀設備的數據,並檢測Reticle和Wafer上的錯誤和缺陷。該單元使用高級算法檢測肉眼可能看不見的缺陷。軟件還能夠測量特征大小、位置和間距,以確保Reticle和Wafer滿足指定的要求。AMAT UVision 3掩模和晶圓檢測系統的最後一個組件是顯示和控制單元。此單元由觸摸屏顯示器組成,用於控制設備和訪問產品數據。它還包括一個內置攝像頭來查看標線和晶片，以及一臺打印機，以便可以直接從設備打印報告。總體而言,APPLIED MATERIALS UVision 3掩模和晶片檢測機是一種堅固可靠的工具,其設計目的是在BEOL過程中有效地檢查網紋和晶片。它能夠檢測肉眼無法檢測到的缺陷,並能夠測量特征大小、位置和間距,從而在檢查Reticles和Wafers時保持一致的精度和精確度。