二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #293665699 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4是為半導體制造應用而設計的高精度、五軸掩模和晶圓檢測設備。它能夠測量圖樣的幾何、尺寸和形狀特性以及晶圓和掩模的表面誤差。該系統結合了一系列三維光學傳感器，既可檢測視圖上的缺陷，也可檢測深度缺陷。AMAT UVision 4配備了先進的圖像處理算法，用於比較和分析圖樣化特征的幾何形狀，有助於及早發現和預防錯誤。該裝置采用8英寸乘8英寸雙級，可容納200毫米和150毫米晶圓。APPLICED MATERIALS UVision 4配備了兩款二級亮場燈具，便於識別小缺陷和特點。此外，它的主動分期技術允許精確掃描全表面和部分表面。這樣可以確保早期發現潛在的缺陷,從而提高晶圓和掩模的產量。為確保準確性和可靠的結果，機器配備了內置的自動特征提取軟件。此軟件會自動提取和檢查橋梁、溝槽和基準標記等特征,以確定其尺寸和位置。自動化軟件還能夠分析邊、線端形狀和開口/閉合。它還配備了有助於提高分辨率和對比度的抗鋸齒和抖動算法。UVision 4設計用於掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）和激光成像等多種數字成像技術。它還利用了不同的照明和曝光技術，如光斑照明、泛光照明和脈沖照明。該工具還能夠使用高級特征識別和模式匹配算法檢測復雜特征。這種多功能資產有助於大大減少半導體制造過程中檢查晶片和掩模所需的時間和精力。它提供了更高的吞吐量和穩定的性能，同時為檢測和測量納米級缺陷提供了更高的精度和準確性。AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4還可以通過全面識別缺陷和驗證設計規則來幫助提高產量。