二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #9390689 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4設備是先進的臨界區域掩模和晶圓檢測(CAMI)平臺。該系統旨在提供高精度、亞微米分辨率的成像以及不透明和透明晶片和掩模的分析。AMAT UVision 4單元配備了最先進的雙光束成像和分析工藝,提供納米級分辨率。這臺機器能夠檢測和糾正蒙版和晶片中可能未被檢測到的錯誤。APPLICED MATERIALS UVision 4工具由四個主要組成部分組成:(1)高功率雙束顯微鏡資產;(二)高效冷卻模式;(三)高精度圖像分析設備;(4)高分辨率圖像顯示系統。雙束成像單元利用光束和電子束提供亞微米分辨率成像和晶圓和掩模分析。雙束顯微鏡機可直接測量晶圓表面和掩模基板上的臨界尺寸(CD)、接觸孔尺寸和空間間隔。UVision 4冷卻工具基於一項獲得專利的技術,可實現快速樣品冷卻,同時保持亞微米分辨率。冷卻室允許樣品保持在低至-100 °C的溫度下。這有助於減少樣品和成像資產之間可能發生的物理交互的復雜景觀,提供驚人清晰的圖像。高精度圖像分析模型包括一套復雜的軟件包,支持缺陷檢測、隔離和識別。該設備用於檢測和報告任何缺陷,如劃痕、空隙或非共面,以及缺陷的方向。自動化分析結果可以多種格式輸出,以便進一步審查。最後,設計了AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4圖像顯示系統,以增強圖像的實時觀看和查看。它提供高分辨率、高質量的圖像,用於準確的缺陷驗證和問題解決。總體而言,AMAT UVision 4設備具有許多功能,使其成為電子制造業的寶貴資產。其納米級分辨率和檢測能力,以及堅固耐用的冷卻機,允許對不透明透明的晶片和掩模進行精確的檢查和分析。這種工具肯定會在未來幾年成為業界日益重要的工具。
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