二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9298508 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5 Mask&Wafer Inspection Equipment是一種生產級計量系統，為半導體制造過程中使用的半導體晶片和光掩模提供高級光學檢查和缺陷審查。AMAT UVision 5利用360度光束掃描技術精確測量復雜電路和光掩模的尺寸特性和表面變化。這個單元既可以進行晶片級檢查，也可以進行模具級檢查。在晶片級檢測中,該機采用1 µm光束點尺寸和50 μ m聚焦光學工具,最大真空晶片尺寸為195 mm,放大倍數可達10,000倍。此外,該資產還通過獲得專利的連續聚焦調整來提供對電路和模式的高精度測量,以保持最高的吞吐量。應用材料UVision 5提供高分辨率表面缺陷分析或缺陷審查。這包括3 D計量、表面拓撲分析以及缺陷特征和缺陷形態特征的成像。該模型配有先進的圖像處理算法，旨在提高缺陷審查的準確性和可重復性。這包括用於高級缺陷分析的自動缺陷審查（ADR）,以及用於生成精確分析結果的自動檢測性能指標。UVision 5設備自動化了整個檢測過程，從光學檢測到缺陷分析。這包括自動晶圓對準、準確的失真跟蹤和審查以及自動缺陷分類。系統還包括2D蒙版對準和CD/RCD掃描和縫合。最後,該單元提供常規測量、性能測試、特征大小和OSAT測量、CD/RCD測量以及線緣粗糙度（LER）測量,以跟蹤制造產量。AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5利用集成的自動化和高水平的數據精度和精確度,為生產環境提供了可靠、可重復的掩模和晶圓檢測。這臺機器增加了吞吐量,滿足了較低的檢查限制,並提供了更高級別的過程控制。