二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9375213 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5是面膜和晶圓檢測領域的主力軍。它在高度自動化的設備中提供可靠和通用的掩碼和晶圓檢查，學習曲線很短。該工具采用355 nm紫外線和6個圓形CCD攝像機，使晶片的放大倍數達到3000X。這個工具提供了對大晶圓映射的精確回顧，提高了模式識別的速度，減少了錯誤的拒絕。除了幫助識別設計規則違規外,系統還應用自動分類算法以確保高效、可靠的模式識別。此工具還包括靈活的預先配置的子字段區域,這些區域可在較大的區域上進行詳細的較小特征查看,從而有助於針對特定的與產量相關的熱點。AMAT UVision 5是一種用途非常廣泛的工具,能夠檢查各種不同的基板幾何形狀。它能夠方便地檢查非「方形」芯片中的不同模式以及門側墻結構等結構。除了檢測模式缺陷外，還能尋找隨機噪聲、模糊邊、線寬變化等缺陷異常。該設備還具有自動和手動缺陷分類功能，使用戶和缺陷檢測機更好地了解與設備相關的錯誤。該工具還具有自動對焦校準和漂移調整功能,可實現陣列對齊,並實現10-sigma可重復性,分辨率低於nm。自動化功能還消除了用戶定義的設置,並大大減少了手動調整,從而實現了更一致和可重復的測量。該資產的界面也易於使用,具有用戶友好的GUI,支持輕松的模式審查、註釋和選擇。它還從桌面提供完整的操作和質量控制功能。總之，APPLIED MATERIALS UVision 5模型是當今半導體制造工廠為掩模和晶圓檢測設計的可靠、通用的工具。它提供精確的模式審查和缺陷檢測功能,以及用於可靠測量的自動化設置。此外,用戶友好的GUI還提供了簡單的模式查看、註釋和選擇。