二手 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9390690 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5是一種革命性的掩模和晶圓檢測設備,其設計目的是在半導體故障隔離、過程優化和屈服管理過程中提供卓越的性能、準確性和可靠性。該系統由可自動配置的集成移動光學顯微鏡（MOM）單元組成，為過程監測、故障隔離和屈服增強提供了性能優勢。該機對5 nm缺陷尺寸敏感,可實時測量打印缺陷和線寬,確保了生產超細元件幾何形狀、公差線寬和缺陷檢測的卓越工藝控制。AMAT UVision 5的光學顯微鏡設計由一個獲得專利的移動光學顯微鏡（MOM）到XYZ級組成,可根據應用自動進行集成二維（2D）檢查和自動調焦。該儀器還采用了獲得專利的自動對準技術，提供了最大的清晰度以及晶圓註冊的準確性。這樣可確保避免正面和背面檢查功能不對齊。在操作過程中，平臺將晶片放置在MOM窗口的頂部，並且MOM在高速時通過晶片並繞過晶片。成像工具與MOM配合使用,可生成高度詳細、增強的圖像,然後對其進行研究或與已知的好或壞設計庫進行比較。APPLIED MATERIALS UVision 5提供了快速的吞吐量,並且可以在獨立的環境中運行,從而使用戶能夠減少同地故障排除時間並優化產量管理協議。最大5微米的廣域測量能力和亞微米測量提供了卓越的工藝優化能力。最後,高度熟練的缺陷識別和審核將手動工作保持在最低限度,並進一步簡化分析過程。UVision 5資產為半導體故障隔離、過程優化和產量管理過程提供了卓越的通用性、準確性和可靠性。晶圓配準圖像的最大清晰度和準確性確保了設計特征和圖樣的高效處理,從而獲得令人滿意的最終結果。因此，AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5是滿足高端半導體行業最苛刻挑戰的理想掩模和晶圓檢測模型。