二手 AMECON JANUS 200 / 300 #9193407 待售
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AMECON JANUS 200/300是一款先進的面膜和晶圓檢測設備,旨在達到優越的屈服效果。該系統利用具有高靈敏度和高分辨率的專用傳感器檢測任何印刷缺陷,使其能夠在生產和研發環境中得到利用。優越的光學元件和檢測器靈敏度相結合,導致高達10µm的缺陷檢測率,確保不遺漏任何缺陷,同時仍然提供超過250晶圓每小時的快速檢測率。用於操作設備的軟件易於理解,從而可以在任何過程中更快地進行設置和使用。JANUS 200/300具有堅固的結構,包括晶圓對準定位的高精度掃描級、快速模式對準的高精度X-Y級、自動曝光控制、自動對焦和可調節的激光功率,以確保被檢查區域的完美對準。此外,該機器還采用了定制設計的基於光纖的微型化光學發動機,該發動機以最短的接合時間捕獲每個晶圓的全維圖像。除了缺陷檢測外,該工具還配備了缺陷分類器,允許將檢測到的缺陷快速準確地分類為有意義的類別。這使操作員能夠快速評估任何缺陷的原因,以便在必要時可以采取糾正措施。JANUS AMECON JANUS 200/300還采用了一套創新技術,非常適合生產線使用。這些包括它在極端溫度下工作的能力,它從不同基板上寄存和記憶幾種不同圖樣的能力,以及它在幾種可選鏡片之間輕松切換的能力。此外,資產的內部邏輯和內存可以存儲多達1000個晶圓基板的信息,同時檢測單個掃描晶圓中的多個缺陷,使其成為任何生產線的寶貴資產。堅固的構造、改進的光學元件和先進的軟件相結合,產生了強大的掩模和晶圓檢測模型,能夠以最短的周期時間提供高質量的結果。200/300是任何半導體制造工藝的完美解決方案,提供卓越的產量和可靠的結果。
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