二手 ASM IBE 109 #9396459 待售

ASM IBE 109是ASM International設計的掩模和晶圓檢測設備。它是一個全自動、多軸、最先進的系統，能夠使用不同類型的探測器檢查掩模膜和晶片膜。該單元配備了四個頂級探測器：溢流攝像頭、前側照明（FSI）、雙側照明（DSI）和對比度傳遞功能（CTF）相機。Overflow相機是機器的主要探測器，提供令人難以置信的高分辨率圖像。它基於高精度、高速的直線掃描。它能夠檢測薄膜上其他探測器可能無法檢測到的微妙特征。FSI檢測器用於檢測由透明層和不透明層組成的異質膜。它采用大功率光影成像的組合，能夠檢測薄膜缺陷。DSI檢測器用於均質膜的檢測。它配有兩個光源，能夠檢測薄膜底座和層的兩側。它允許工具檢測薄膜底座和層中的非周期性和周期性缺陷。最後，使用CTF檢測器測量膠片的曝光輪廓。它采用高功率光圖像和對比度傳遞函數（CTF）成像的組合來計算抗蝕層的輪廓。IBE 109還有一個集成軟件包，能夠控制探測器參數和測量。該軟件可用於控制薄膜檢查、缺陷評估、批處理以及數據分析和導出到其他系統。該軟件還能夠就檢查參數提供實時反饋，還可以為每個檢查過程生成詳細報告。ASM IBE 109是一種功能強大的掩模和晶片檢測資產，為異構和均質膜的檢測提供了極高的精度和精確度。其軟件包提供了一系列改善整體檢測體驗的功能。憑借其快速、高效、可靠的性能，IBE 109是滿足所有掩模和晶圓檢測需求的可靠選擇。