二手 ASM IBE 139 #293637824 待售

ASM IBE 139是為大容量半導體制造商設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統基於晶圓映射布局算法,使其能夠同時精確映射和檢查許多元素,如靜電放電斷層掃描圖像、光掩碼缺陷檢測圖像、模具級位置映射等。該單元融合了幾種新穎的特點，使其適用於大批量生產、缺陷分析和故障定位等多種應用。ASM IBE139機由兩個主要組件組成。第一個組件是接口模塊,它包括成像攝像頭、分束器、顯微鏡、CPU和圖像處理單元。此模塊連接到圖像預處理DSP,用於晶圓上的高分辨率成像和缺陷檢測。第二個組件是Imaging&Pattern Generation Module,它使用自定義專有軟件來控制半導體晶片上的成像和缺陷檢測。軟件使用模式識別算法快速分類監控步驟之間的缺陷並識別任何異常。該軟件還可用於對圖像進行高級分析和構建詳細的統計報告。IBE 139工具支持高分辨率成像，每晶圓最多可成像2,000點。它使用紅外和藍色光源，檢測像素化圖像中的缺陷。該資產還配備了高分辨率顯微鏡，允許2D和3D成像以及缺陷檢測。此外，立體視覺模型能夠檢測和處理三維缺陷。除了成像，設備還提供各種其他功能。它可以識別、測量和表征靜電放電、光掩模缺陷檢查、模具級位置映射以及熱點、燒傷和其他故障事件。該系統還可用於編碼、跟蹤、掩蔽和重構晶圓的數據。它支持SIMS分析，可用於晶圓缺陷的詳細表征。此外,它還可以實時復制圖像,從而實現在線目視檢查,以獲得最高的準確性。該單元還包括一個用於比較的標準圖像庫，並有一個快速學習算法，使快速模式識別。最後,計算機具有高度可定制的用戶界面,允許用戶根據需要配置其設置。有利於大批量，引導用戶設置閾值等檢查參數，讓數據快速分類。總體而言,IBE139工具提供了一個全面的掩模和晶圓檢測解決方案.它提供高分辨率成像功能和高級模式識別功能,以快速準確地檢查和識別缺陷。此外,它還具有一個可自定義的用戶界面,使用戶能夠調整資產的設置以適應其各自的要求。