二手 ASM IBE 139 #9069578 待售
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ASM IBE 139 Mask&Wafer Inspection Equipment是一種高性能成像系統,旨在執行實時的串聯檢查應用。ASM IBE139以ASM在缺陷檢測和全球計量能力方面的專業知識為基礎,在在線生產過程中準確檢測和測量關鍵非標準掩模特征的缺陷。該單元配備了先進的成像映射和故障檢測功能,包括6-sigma 3D截面視圖和參數分析,使關鍵生產參數得以監控。該機還配備了集成的視覺檢測工具,能夠檢測微載荷和多層缺陷等非常小的特征。IBE 139有一系列專門的數字成像傳感器,可快速捕獲不同長寬比和視場的圖像,以快速準確地檢測反射中最小的錯誤。資產還能夠測量可以使用、找到和分析的各種不同材料和模式的變化。IBE139晶片檢驗模型設計獨特,可在成形的試錯階段進行精細控制,確保已發布的產品符合所需的設計標準。它使用先進的數字顯微鏡技術來監控每一次掩模處理過程,設備能夠檢測到偏離所需設計的掩模和晶片。該系統旨在精確檢測和測量微小的缺陷,包括但不限於汙染、蝕刻損壞、不受控制的氣體濃度、光掩模缺陷以及光掩模或光致抗蝕劑層下的汙染。該單元使用統計過程控制技術來測量非標準掩碼特征。光學器件提供白色/透明光源,用於記錄光,激光光源用於消除各種樣品部件的陰影。ASM IBE 139晶圓檢測機還支持差分聚焦成像(DFI),能夠檢測表面清潔度和變形。ASM IBE139 Mask&Wafer Inspection Tool旨在為操作員提供一種方便高效的方法來檢查各種關鍵部件。IBE 139具有用戶友好的界面、高分辨率成像和卓越的計量能力,是滿足高精度在線檢測需求的最佳產品之一。
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