二手 ASM IBE 139 #9266246 待售

ASM IBE 139是一種用於檢查半導體制造中使用的標線和晶片的掩模和晶片檢驗設備。它采用了靈敏的高速成像掃描系統，旨在檢測常規和極端紫外線（EUV）掩模和晶圓圖像中的粒子級缺陷和非均勻性問題。該單元由兩個部分組成：一個裝有投影透鏡機的檢驗光學器件和一個檢驗軟件。投影鏡頭工具由DUV鏡頭、間隔鏡頭和成像相機組成。DUV透鏡用於創建要檢查的掩模或晶片上圖案的均勻且未失真的圖像。間隔鏡頭能夠放大和調整圖像到掃描資產的視野。成像照相機捕捉圖像，能夠檢測到粒子大小的缺陷。檢查軟件由幾個算法模塊組成，每個模塊設計用於檢測各種類型的缺陷和非均勻性問題。這些包括校準精度差異、線寬和缺陷檢測。軟件是自動化的,能夠檢測多個掩碼級別的缺陷。它還利用模式識別技術來檢測小規模的粒子級缺陷。該軟件設計方便用戶，包括報告和數據導出功能。ASM IBE139是一種先進的檢測模型。它旨在檢測廣泛的掩模和晶圓應用中的粒子級缺陷。其高速成像掃描功能和自動檢測算法為優化過程效率和質量控制提供了先進的解決方案。IBE 139是一種經濟的解決方案,它為半導體制造提供了必不可少的工具。