二手 ASM ISISP-189 #9396588 待售

ASM ISISP-189是為半導體制造過程設計的自動掩模和晶圓檢測設備。它具有全自動晶片處理程序和自動對齊功能,可快速設置時間。ISISP-189配備了630 nm激光光源、高分辨率單色相機和可手動對齊或自動與隨附軟件對齊的光學舞臺。該系統能夠測量和檢測口罩和晶片直徑不超過150毫米的缺陷。在檢查掩碼或晶片時,ASM ISISP-189同時使用亮場和暗場成像來捕獲存在的所有缺陷的高分辨率圖像。該單元針對薄膜結構和圖案化結構進行了優化,可以準確檢測硬質和軟質缺陷。ISISP-189還能夠識別重復的結構,如「類似圖像」,可用於快速識別不同晶片甚至不同生產運行的同一復制之間的細微差異。該機具有精密度小於10 nm的出色晶圓測量能力，非常適合用於先進的芯片制造工藝。ASM ISISP-189具有改進的缺陷檢測和報告過濾功能。這包括從每次檢查中提取最大信息量的子像素過濾技術。該工具還具有不同的缺陷分類和報告算法,允許將缺陷位置、強度和形狀轉換為用於圖像分析的有用數據。ISISP-189還配備了強大的軟件套件,可用於高級數據分析和圖像處理。這包括特定的掩碼和晶圓檢查工具、高級圖像處理、自動缺陷提取、圖像重建和過濾以及完整的工程報告。該軟件還允許與生產過程中使用的其他自動化系統輕松集成。總體而言,ASM ISISP-189是一種功能強大、可靠的自動掩碼和晶圓檢測資產.它具有先進的成像和缺陷檢測能力，高度精確的晶圓測量和優秀的過濾技術。憑借其強大的軟件套件，該模型非常適合研究和工業應用。