二手 ASM ISP-189 #9266308 待售
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ASM ISP-189是一種高精度的掩模和晶片檢測設備,其設計目的是能夠高精度地檢查和分析標線、光掩模、基板和晶片。這種光學檢測系統能夠以高達0.25 µm的精度檢測多個視場,而0.1 µm的可重復性提供了高度精確的分析結果。此外,它的機器人能力允許從一個檢查站快速無縫地移動到另一個檢查站。ISP-189包含一系列檢查功能,能夠準確評估所有類型的粒子類型、臨界尺寸、光刻技術和長期平整度問題。其獨特的「子階段聚焦掃描」能夠捕獲高親本圖像以進行缺陷分析,而無需額外步驟或單獨的高倍率檢查單元。此外,該機還配備了高靈敏度模模叠加和對準測量,以優化計量性能。集成的自動對焦功能大大簡化了晶圓和標線檢查,使重復的手動對焦或階段調整變得不必要。而且,刀具的多個視角允許對缺陷邊緣進行高分辨率檢查,而無需旋轉晶圓或標線。此外,它的測量功能還包括SNR值、角度判斷、圓擬合、橢圓擬合和多達7個傾斜水平的地面視圖檢查等強大功能。該資產還提供了一個用戶友好的圖形用戶界面(GUI),它配備了一系列高級功能,例如3D檢查應用程序。模型結合的3D和圖像檢測特征通過確定定位和診斷潛在的故障源,提供了更深入的檢測結果。此外,一系列專門的軟件選項滿足特定的應用程序要求,例如用於字符識別應用程序的OCR軟件或用於PCB檢查的計算機輔助設計(CAD)軟件。ASM ISP-189強大可靠的體系結構可確保最大正常運行時間並確保最佳性能。它具有網絡支持功能,能夠快速無縫地將數據傳輸到本地PC,以便進行數據分析和存儲。此外,其系統的預防性維護功能不需要定期校準和其他昂貴的維護活動。綜上所述,ISP-189是一個先進的掩模和晶圓檢測設備,能夠提供高精度的計量結果與真實的生命圖像。其先進的特性、高性能的光學元件、堅固的體系結構、直觀的GUI和用戶友好的設計使其成為檢查和分析掩模、標線、晶片和基板的理想選擇。
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