二手 ASM LBE 139 #9299471 待售

ASM LBE 139是一種自動化的掩模和晶片檢查設備，設計用於在組裝和制造前檢測缺陷。該系統是一種超精密光學檢測機，能夠檢查口罩和晶片，精度高達1 µm。借助白光幹涉測量（WLI）進行檢查。它利用白光快速捕獲高對比度圖像，並以低噪聲和高精度進行精確測量。該單元配有先進的自適應光學器件，提供了改進的圖像質量和均勻的照明。LBE 139上的電動光學器件能夠以200 mm/s的最高速度和5µm的分辨率穿過掩模。顯著減少了檢測的測量時間過程,提供了更高的吞吐量。另外，該階段具有兩個動態聚焦通道，使光學器件能夠適應各種工藝高度。隨附的軟件包ASM Precision Inspector適用於ASM LBE 139儀器和全場工具。該軟件提供了高對比度圖像，通過強大的濾波和邊緣檢測算法改進了視覺詮釋。這允許用戶以更高的精度測量最小的特征大小。軟件還協調機動化階段以進行正確的高速掃描。此外，還提供持續維護和支持，這包括在LBE 139工具的總采購中。這包括全天候技術支持,包括現場服務和遠程診斷,使您能夠快速解決潛在問題。總體而言,ASM LBE 139是一種可靠可靠的掩模和晶圓檢測資產,可通過提高吞吐量提供質量結果。它能夠發現最小的缺陷，並且有維修人員隨時準備在需要時提供幫助。