二手 ASM LBE 139H #9266307 待售

ASM LBE 139H是一種用於半導體工業的掩模和晶圓檢測設備。它配備了雙聚焦物鏡和高分辨率CCD相機，能夠準確捕捉DUV面罩和薄片中最小的特征。該系統采用基於軟件的圖像分析技術，能夠快速準確地檢測缺陷，準確度高。該裝置能夠檢測模版錯誤、劃痕、灰塵、氧化物和汙染以及掩模和晶片表面上的其他顆粒或材料。它還可以檢測布線錯誤、缺少模式、缺陷、錯位和線寬差異。機器還可以精確檢測掩模或晶圓間距、線寬、CD寬等特征值，以便測量線寬的精度，評估掩模和晶圓的質量。它還檢測開放或短斷裂以及線寬變化。此外，該工具還可以檢查薄膜均勻性、表面粗糙度等非維信息，並監測晶圓蝕刻和鉆孔條件下的趨勢。該資產具有廣泛的檢測範圍和高可重復性，使其成為確保DUV掩模和薄片質量的有效工具。它還配備了一個自動化的測量和分析模塊，便於快速和準確地檢查大批量的口罩或晶片。該模型還能夠控制檢查區域的掃描速度，同時補償動態和靜態變形，以確保高精度的測量。它還在生產和實驗室條件下產生準確的圖像和數據。此外，該設備還可以檢測抗性變形，並評估圖像和缺陷。最後,該系統具有符合人體工程學的用戶友好界面,能夠輕松有效地運行。還包括潤滑、定期自動清洗、防凝等維護支持功能。