二手 ASM LBE139CC #9118769 待售

ASM LBE139CC是一種用於半導體器件制造缺陷自動檢測和校正的前沿掩模和晶圓檢測設備。該系統使用先進的光學成像技術來檢測和定位光刻蒙版和晶片中的缺陷，然後提供一系列用戶定義的編輯和校正功能來解決手頭的問題。該裝置具有一個大的視場光學圖像捕獲級，配備了獨特的5軸運動控制，允許在視場中對掩模和晶片進行極其精確的對準。機器的成像部分之後是一個高級和通用的圖像分析和校正軟件套件,該套件可自動檢測和定位所有類型的掩碼或晶片缺陷,並允許對某些特征和形狀進行特定的編輯或校正。LBE139CC還提供一系列自動掩模和晶片檢查功能,如自動表面地形測量、自動發光檢查、自動臨界尺寸（CD）測量和自動化學分析。這些功能可自動檢查單個掩模/晶片中的多個位置,並提供有關原材料和加工掩模缺陷的詳細反饋。該工具還允許比較不同的掩模和晶片之間的測量結果，從而能夠快速可靠地覆蓋整個制造過程。資產還提供了一系列可定制的報告選項,以確保檢查過程的結果可以輕松地與半導體制造工廠內的其他部門共享。該模型還為各部門之間的數據自動傳輸和數據共享提供了一個平臺，便於將掩碼和晶圓檢驗過程無縫地整合到更大的制造工作流程中。總體而言，ASM LBE139CC是一個令人印象深刻且用途廣泛的掩模和晶圓檢測設備，它提供了一套先進的功能，增強了半導體制造中的質量控制過程。