二手 ASM LBE140CC #9118771 待售

ASM LBE140CC是一種先進的自動掩模和晶圓檢測設備,可提供高精度和高速臨界尺寸（CD）測量。該系統為各種掩模和晶圓尺寸提供了廣泛的測量功能,包括任何尺寸可達600毫米的尺寸的掩模。高級軟件提供CD測量、線寬、保護層、異常、缺陷等綜合檢測報告。LBE140CC通過光學變焦鏡頭提高了分辨率，提高了測量數據的精度和準確性。增加的放大倍數可用於光掩模檢查的範圍高達500倍,用於晶圓檢查的範圍高達100,000倍。該單元還可以測量來自受控深度晶片和掩碼的3D圖像,幫助檢測其他缺陷。ASM LBE140CC還配備了幾種自動對焦功能，如運動矢量自動對焦和焦點統計算法，即使在復雜的掩碼上也能提供精確的成像和廣泛的視角範圍。可以輸入和監視預定義的「焦點」關註區域（ROI）,並可以實時糾正缺陷和調整焦點級別。LBE140CC提供全面的分析和報告。它具有雙重分辨率和分析以及改進的數據輸出。該機器還支持圖像的自動計算,幫助自動進行與各種庫圖像的匹配比較。該設備可以準確檢測和分析各種特征，如曲線、拐角和劃痕。ASM LBE140CC提供簡單的操作和維護,同時仍提供高精度和可靠性。多種光源，如鹵素、紅色LED、激光，允許操作員調整照明，以適應不同應用類型的需求。該工具還為人體工程學設計，易於操作，最大限度地減少操作員疲勞。綜上所述，LBE140CC提供了先進的掩模和晶片檢查能力，使其成為高精度微加工的重要工具。該資產具有自動對焦、雙分辨率、焦點統計算法和綜合分析等特點,是實現最優質掩模和晶圓檢測的先進解決方案,有助於確保卓越的生產質量。