二手 ASM TIB 139 #9299463 待售

ASM TIB 139是ASM Technology設計的自動化掩模和晶圓檢測設備。該系統允許在半導體制造過程中對掩模和晶片進行快速準確的檢查。TIB 139單元由一個自動檢查站和相關的基於監視器的軟件組成。自動檢查站利用一臺經過驗證的在線機器來測量掩模或晶片上的關鍵尺寸,以及一臺用於精確和快速成像的多軸運動工具。基於監視器的軟件用於獲取、操作、分析和存儲獲取的圖像。ASM TIB 139資產能夠檢測口罩和晶片上的各種缺陷。它將圖像與預定義的掩碼或晶片設計進行比較,並能夠標記可能存在的任何缺陷,例如缺少的元素、形狀、圖案和叠加配準變化。該模型還可以檢測汙染，包括顆粒、空隙、針孔和顆粒。TIB 139設備能夠成像多種材料，包括氧化鋁、矽、不銹鋼和石英。它還可以以亞微米精度檢查和成像單個掩模或晶片表面的多個層次。此外，該系統還設有高級真空裝置，使其能夠保持敏感材料處理和成像的受控環境。該機還利用多探測器探針顯微鏡，用於精確測量臨界尺寸、叠加精度等各種特性。總體而言,ASM TIB 139工具是一種通用可靠的掩模和晶圓檢測工具.它能夠準確檢測各種材料上的缺陷，其高級真空資產和多探測器探針顯微鏡確保它能夠在受控環境下提供可靠的結果。