二手 ASM TIB 139 #9299596 待售

ASM TIB 139是一種用於半導體掩模和晶片半自動檢測的掩模和晶片檢測設備。該系統結合了500萬像素、CCD數碼相機和一個納米尺寸的3D成像物鏡以及一個自動化的舞臺單元和一個掩模和晶圓照明機。這允許工具在生產過程中檢測面罩或晶片上的表面缺陷、顆粒和劃痕。該資產還具有銷售和校準相機和照明模型以獲得精確圖像的能力。TIB 139可用於多種功能，包括接觸和非接觸式檢查、掩模與晶圓坐標的對齊以及晶圓ID和序列號的模片映射。該設備旨在使檢查操作自動化,通過減少所需的體力勞動來提高生產率。此外,可以對系統進行編程以自動識別和拒絕有缺陷的掩碼和晶片。ASM TIB 139可用於檢查多種半導體工藝，包括深紫外線（DUV）光刻、光刻膠和其他塗層工藝。該單元可以針對不同的晶片和掩模格式進行校準，並允許對不同的曝光劑量和聚焦深度進行自動校準。此外,該機器還可用於在生產過程中偵察視覺缺陷,以及檢查由亞可見顆粒造成的汙染。TIB 139設計方便操作維護。該工具配有一個大型觸摸屏監視器，可以讓用戶快速、輕松地導航和控制資產。此外，該模型包括手動和自動操作模式，以及允許用戶記錄和跟蹤檢查數據的綜合數據記錄設備。ASM TIB 139是一種方便直觀的檢測半導體掩模和晶圓的方法。該系統旨在增加生產量和效率，同時減少所需的體力勞動。它的自動化檢查功能使用戶能夠快速、準確地檢測表面缺陷、顆粒和劃痕,有助於確保產品質量。